מכונת ה-VeritySEM 5i שלנו: מה היא עושה, איך היא פועלת ולמה היא מסמלת את תחילתו של מהפך טכנולוגי

13מרץ2015

בחודש פברואר 2015 השקנו מכונה חדשה מתחום המטרולוגיה מבוססת קרן אלקטרונים CD SEM Metrology. למה היא נדרשת, מה היא מחדשת ומה היא מאפשרת ליצרני השבבים, בוידאו המצורף.

כדי לעמוד בקצב של חוק מור, המנבא את הכפלת צפיפות הטרנזיזטורים כל שנתיים, תעשיית המוליכים למחצה עוברת בשנים האחרונות לייצור שבבים בטכנולוגיות תלת מימדיות. משמע, לא עוד מבנים שטוחים שאפשר להסתכל עליהם מלמעלה ודאפיין אותם באופן מלא, אלא מבנים שגם למימדי הגובה שלהם משמעות חשמלית קריטית. 

מגמה זו נצפית הן בתחום הטרנזיזטורים עם המעבר ל-FinFET והן בתחום הזכרונות, עם פיתוח זכרונות פלאש הבנויים בקומות – VNAND. מדידה ואפיון של מבנים תלת מימדים הם קשים במיוחד. נדרשת הדמיה שמאפשרת ראיה תלת מימדית לצד יכולת חדירה והדמיה של מבנים עמוקים במיוחד, הניחנים ביחס רוחב לגובה המגיע עד 1:60.

עד היום, נתקלו הייצרנים בקושי לעבור מפיתוח לייצור המוני של שבבים המבוססים על מבנים תלת מימדיים. מכונת המטרולוגיה מבוססת קרן אלקטרונים סורקת (CD SEM) החדשה של אפלייד ישראל נותנת מענה לקושי הזה. המכונה VeritySEM® 5i מצויידת באפשרויות הדמיה מתקדמות במיוחד וכלים ייחודיים המאפשרים את המעבר לייצור המוני של שבבים מתקדמים אלו, בטכנולוגיות של רוחב קו מסדר גודל של 10 ננומטר.

רוצים להבין מה המכונה עושה ואיך?
צפו בוידאו של עופר אדן, מנהל השיווק והטכנולוגיה של קו המוצר מסביר עליה - ועוד ובעברית!